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PTR200N萊寶真空計說明
更新時間:2021-05-15   點擊次數(shù):2000次

PTR200N萊寶真空計說明

PTR 200 N PENNINGVAC 系列真空變送器可提供從 1×10-8 毫巴至 1500 毫巴的較大測量范圍,基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性、壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)和冷陰極 (CC) 電離電流的測量結(jié)果。
PTR 200 N PENNINGVAC 變送器配備 RS232 數(shù)字通信接口,可設(shè)定變送器參數(shù)并提供實時壓力測量。更多詳情,請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232)。
每臺變送器在出廠前已逐臺進(jìn)行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外,每個變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。
變送器擁有三個機(jī)械繼電器,這些繼電器可用于過程控制,例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備,獲取壓力讀數(shù),或進(jìn)行壓力控制。
傳感器技術(shù)
PTR 200 N PENNINGVAC 變送器含有兩個獨(dú)立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機(jī)械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片,其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀,空腔內(nèi)無法進(jìn)行對流,因此,傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴(kuò)散,氣體分子只到達(dá)熱元件,在此處可測量氣體的熱損耗。
冷陰極反磁控管采用高電壓陽極、陰極和永磁體。電子向陽極加速,并將通過碰撞而使分子離子化。磁場使電子偏轉(zhuǎn),從而使電子在穿過磁場前往陽極時做螺旋形移動。這種螺旋運(yùn)動增大了電子遇到分子并使分子離子化的機(jī)會。
分子離子化產(chǎn)生電流,該電流是壓力的函數(shù)。這兩個傳感器元件均極為堅固耐用,可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
PTR200N萊寶真空計說明應(yīng)用
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中,如:工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:
? 一般真空壓力測量
? 氣體回填測量和控制
? 涂料
? 質(zhì)譜儀控制
? 系統(tǒng)過程控制
? 檢測異常壓力,利用設(shè)定點繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?br />? 控制系統(tǒng)壓力

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