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中國(guó)臺(tái)灣漢鐘iPM600螺桿泵維修IPM半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛系列 型號(hào)有iPM100,iPM600 用途：Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant 特點(diǎn)：綠色制造、新系列干式真空泵 體積小、耗功低、大幅度降低成本 用于中度嚴(yán)苛制程的節(jié)能泵

卡西雅瑪MU300X干式泵維修Kashiyama日本卡西雅瑪螺桿泵維修主要特性及優(yōu)點(diǎn)： 1、無油真空泵 由于真空腔內(nèi)沒有油潤(rùn)滑，因此粉塵不會(huì)存留在泵腔內(nèi)，而是隨著氣體從排氣口排出泵外。 不需處理廢油，環(huán)保。 2、無油壓縮真空泵 由于氣體在泵內(nèi)有壓縮，因此消耗功率低。 3、泵腔內(nèi)沒有任何的內(nèi)部閥門，排除了因內(nèi)部閥門而產(chǎn)生的故障的可能性，因此耐粉塵和焦油能力強(qiáng)。 4、泵腔外殼可方便地拆卸，便于清洗螺桿

iH600愛德華干式泵維修 iH1800 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相 A59040946 技術(shù)數(shù)據(jù) 峰值速度 1800 m3h-1 1060 cfm